EUV光刻机是半导体制造中的核心设备,只有ASML公司才能生产,单台售价约10亿人民币,之前三星、台积电等公司还要抢着买,然而今年半导体形势已经变了,EUV光刻机反而因为耗电太多,台积电计划关闭省电。来自产业链的消息人士手机晶片达人的消息称,由于先进制程产能利用率开始下滑,而且评估之后下滑时间会持续一段周期,台积电计划从年底开始,将部分EUV 设备关机,以节省EUV设备巨大的耗电支出。

据了解台积电目前拥有大约80台EUV光刻机,主要用于7nm、5nm及以下的先进工艺,今年9月份还会量产3nm工艺,都需要EUV光刻机,然而随着PC、手机、显卡等产品的需求下滑,先进工艺生产的芯片势必会受到影响。

苹果今年的iPhone 14 Pro系列的A16处理器也没有急着上3nm工艺,还在用4nm工艺,此外苹果还因为3nm能效问题,取消了初代3nm生产芯片的计划。

相比之前的DUV光刻机,EUV光刻机需要使用高能激光器,而且光线会多次折射导致损耗极大,早期效率只有0.02%,现在量产的说是可以达到2%效率,但也意味着绝大多数电力都要消耗掉。

EUV光刻机生产一天需要3万度电左右,一年耗电大约1000万度,是十足的电老虎。

文章来自:电子工程世界

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作者 yinhua

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