目前半导体是PBN材料主要应用领域,PBN制品在半导体领域发挥着不可或缺作用。

PBN,全称为热解氮化硼,是指在极高温度下通过热解反应制备而成的氮化硼,属于先进无机非金属材料的一类。PBN纯度高达99.999%,无色无味,外观呈白色粉末状,具有良好的致密性、耐高温性、绝缘性、抗氧化性、气密性、耐酸碱性、抗热震性、导热性特点。

PBN主要生产工艺为以三氯化硼、氨气等为原材料,在高温、高真空条件下,利用化学气相沉积技术,通过CVD反应、裂解等环节制备热解氮化硼的过程。PBN产品主要包括PBN坩埚、PBN板材、PBN部件、PBN涂层、PBN舟等。

PBN应用领域较为广泛,在半导体晶体合成领域,PBN主要作为坩埚应用于VGF法、VB法、LEC法、HB法等单晶生长工艺场景,是目前半导体单晶(砷化镓、磷化铟等)生长的理想容器;在半导体外延制膜领域,PBN主要作为源炉容器应用于分子束外延生长工艺场景;在半导体单晶提拉领域,PBN主要作为绝缘材料应用于石墨加热器绝缘涂层涂装场景;在OLED领域,PBN主要作为导流环和坩埚应用于OLED蒸镀系统中蒸发元制造场景。

目前半导体是PBN材料主要应用领域,PBN制品在半导体领域发挥着不可或缺作用。近年来,在国内半导体产业快速发展带动下,PBN市场需求得以不断增加、规模得以持续扩大。2021年我国半导体市场规模已超2100亿美元,在此背景下,根据新思界产业研究中心发布的《2023-2027年中国PBN(热解氮化硼)行业市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示,2021年我国PBN市场规模已达24百万美元。其中PBN坩埚是PBN制品市场主流产品。

目前布局PBN市场的企业主要包括日本信越化学、美国迈图科技、英国摩根先进材料、德国Peters、美国Stanford Advanced Materials、英国Thermic Edge等外资企业与国晶新材、诺华陶瓷、和福祥陶瓷等本土企业以及博宇半导体等合资企业。其中2021年,博宇半导体与信越化学是占据我国PBN市场份额最大的两家企业,行业集中度较高。

新思界产业分析人员表示,PBN作为一类先进陶瓷材料,其在半导体领域发挥着不可或缺作用。当前在国民经济快速发展以及电子信息产业景气度持续上行背景下,我国半导体产业发展迅速,进而带动PBN市场需求不断增加、规模不断扩大,行业发展前景较好。但受技术壁垒限制,在目前国内PBN市场中,本土企业仍占据较少市场份额,国产化水平较低。未来本土PBN企业还需加大技术攻关力度与产品创新力度,行业成长空间巨大。

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作者 yinhua

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