一、DBC工艺的发展
DBC 技术主要是基于氧化铝陶瓷基板发展起来的陶瓷表面金属化技术,最早出现于 20 世纪 70 年代,由 J.F.Burgess 和 Y.S.Sun 等人提出,到 80 年代中期,美国 GE 公司的 DBC 研制小组将该技术实用化。
经过多年的发展,该技术不仅在制备工艺、结合强度和热循环疲劳寿命等方面取得了突破性进展,而且在电子封装领域也取得了长足进步。 目前可选用的陶瓷基片材料有氧化铝(Al2O3)、氮化铝(AlN)、氧化锆增韧氧化铝(ZTA)。此外,在 DBC 工艺技术的基础上不断优化创新发展出来的新工艺,例如 FJ Composite 的 S-DBC 技术,先在陶瓷表面沉积Ti层,再通过热压与铜结合。
图 S-DBC 工艺与AMB 工艺键合界面,来源:FJ Composite
此外,活性金属钎焊(AMB)和直接敷铝(DBA )工艺技术也是从 DBC 工艺技术发展起来的金属直接敷接陶瓷基板新工艺。这两个工艺在这我们就不多说,感兴趣的朋友可以看看我们之前的文章。 推荐阅读:
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二、DBC 工艺的原理
DBC陶瓷基板是一种通过热熔式粘合法,在高温下将铜箔直接烧结到陶瓷表面而制成的一种复合基板。直接覆铜技术是利用铜的含氧共晶液直接将铜敷接在陶瓷上,其基本原理是敷接前或过程中在铜与陶瓷之间引入适量的氧元素,在 1065~1083℃,铜与氧形成 Cu-O 共晶液,DBC 技术利用该共晶液一方面与陶瓷基板发生化学反应生成 CuAlO2 或 CuAl2O4 相,另一方面浸润铜箔实现陶瓷基板与铜板的结合;然后根据线路设计菲林贴膜曝光显影,通过蚀刻方式备制线路基板。陶瓷基板直接敷铜板的工艺过程如图 1 所示。
图 1 陶瓷基板敷铜板工艺流程 由于 AlN 陶瓷对铜的浸润性能差,所以在敷接前必须对其表面氧化处理,通常是将 AlN 陶瓷在空气中加热氧化,在其表面生成一层致密的氧化铝,再通过该氧化铝层实现铜与 AlN 陶瓷基板的结合,Al2O3膜厚度决定了敷接质量。后续程序与氧化铝直接敷铜工艺基本相同,如图2所示。
图 2 AlN陶瓷基板敷铜板工艺
三、DBC 陶瓷基板的性能
DBC 陶瓷基板具有陶瓷的高导热、高电绝缘、高机械强度、低膨胀等特性,又兼具无氧铜的高导电性和优异焊接性能,且能像PCB线路板一样刻蚀出各种图形。
1、绝缘性能好
使用DBC基板作为芯片的承载体,可有效的将芯片与模块散热底板隔离开,DBC基板中间的Al2O3陶瓷层或者AlN陶瓷层可有效提高模块的绝缘能力(陶瓷层绝缘耐压>2.5KV)。
2、导热性能优异 DBC基板具有良好的导热性,热导率为20-260W/mK,IGBT模块在运行过程中,在芯片表面产生大量的热量,这些热量可有效的通过DBC基板传输到模块散热底板上,再通过底板上的导热硅脂传导于散热器上,完成模块的整体散热流动。
3、热膨胀系数与硅接近 DBC基板膨胀系数同硅(芯片主要材质为硅)相近(7.1ppm/K),不会造成对芯片的应力损伤,DBC基板抗剥力>20N/mm²,具有优秀的机械性能,耐腐蚀,不易发生形变,可在较宽温度范围内使用。
4、良好的机械强度 厚铜箔和高性能陶瓷材料使DBC基板具有良好的机械强度和可靠性。
5、载流能力强 由于铜导体电性能优越,且有将强的载流能力,因此可以实现高功率容量。
6、像PCB板一样可以蚀刻各种图形
三、DBC 陶瓷基板的应用
DBC 陶瓷基板的应用广泛,包括大功率白光 LED 模组、紫外/深紫外 LED 器件封装、激光二极管(LD)、汽车传感器、制冷型红外热成像、5G光通信、高端制冷器、聚焦型光伏(CPV)、微波射频器件、电子电力器件(IGBT)等众多领域。
虽有AMB、DBA等新型陶瓷基板的出现,但并不意味着能完全替代DBC,在功率和成本的应用场景下,有各自的应用场景,DBC仍有很大的市场空间空间。
四、国内DBC陶瓷基板厂商名单
江苏富乐华半导体科技股份有限公司 | 浙江精瓷半导体有限责任公司 |
浙江德汇电子陶瓷有限公司 | 秦皇岛盛智电子科技有限公司 |
淄博市临淄银河高技术开发有限公司 | 合肥圣达电子科技实业有限公司 |
深圳市博敏电子有限公司 | 比亚迪电子 |
福建华清电子材料科技有限公司 | 深圳市百柔新材料技术有限公司 |
安徽陶芯科半导体新材料有限公司 | 河北中瓷电子科技股份有限公司 |
成都万士达瓷业有限公司 | 宜宾红星敏感电器有限公司 |
南京中江新材料科技有限公司 | 南通威斯派尔半导体技术有限公司 |
同欣电子工业股份有限公司 | 立诚光电股份有限公司 |
誊骐国际股份有限公司 | 佳总兴业股份有限公司 |
珠海汉瓷精密科技有限公司 | 深圳市金瑞欣特种电路技术有限公司 |
深圳金航芯半导体有限公司 | 河南鸿昌电子有限公司 |
深圳陶陶科技有限公司 | 惠州市智骏光电科技有限公司 |
东莞市简创电子科技有限公司 | 四会富仕电子科技股份有限公司 |
广东荣创(东莞)科技有限公司 | 合肥邦诺科技有限公司 |
宁波江丰同芯半导体材料有限公司 | 西人马联合测控(泉州)科技有限公司 |
金冠电气股份有限公司 | 深圳思睿辰新材料有限公司 |
…… |
篇幅有限我们这里不做具体的企业介绍,后期再为大家详细介绍。
(文章来源:艾邦陶瓷展)