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几乎日常生活的每一项技术中都少不了微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)器件。智能手机是消费类设备的一个突出例子,它集成了多个MEMS器件,例如用于运动传感的加速度计和陀螺仪,以及用于无线通信的基于MEMS的滤波器

MEMS也是汽车行业的一项关键技术,从发动机管理或轮胎压力监测系统中的压力传感器到安全气囊释放系统中的加速度计。而用于汽车和工业应用的MEMS器件必须满足最高标准的性能和可靠性,这也对制造技术提出了最高要求。

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